1. 高稳定性大理石底座及C型架
机器底座和C型架均采用大理石,大理石的主要特点如下:
(1).大理石经过长期天然时效,内应力完全消失,材质稳定,不会变形。
(2).膨胀系数小,受温度影响小。
(3).大理石组织结构精密,表面光滑耐磨。
(4).耐酸,耐碱,抗腐蚀,抗磁。
(5).不会受潮生锈,使用,维护方便。
(6).因此使用大理石作为底座,可以保证导轨及丝杆等运动机构的长期稳定性,降低运动机构的磨损,提高设备使用寿命。
(7).使用大理石作为C型固定架,可以保证激光位移传感器在设备扫描过程中更加稳定,提高测量精度及稳定性。
2. 独特的激光位移传感器固定设计
两个激光位移传感器的对齐度对设备的测量精度及抗极片波动能力起着至关重要的作用。两个传感器通过精密加工的固定块及微动平台固定在大理石C型架上。两个微动平台可以分别向两个方向调节传感器固定位置并锁死。通过这种设计既确保了激光位移传感器的固定牢度,又能让传感器的位置可调。保证两个激光位移传感器的对齐度达到微米级。
3. 精巧的校准及自校准设计
设备通过两片500μm的陶瓷片作为校准参考物,陶瓷质地坚硬,性质稳定,不易磨损。以陶瓷作为校准片可以保证设备校准不会出现偏差。
一枚陶瓷片固定在精巧的旋转机构上,可以快速精确的校准两个传感器的对齐度,此结构已经申请专利。
4. 细致入微的硬件调试